Schnell Reagierende Zweizonen-Sockelanordnung für Selektive Vorreinigung

EP4103761 Art A1 21. Dezember 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4103761
Aktenzeichen: EP21753578
Anmeldetag: 5. Januar 2021
Veröffentlichung: 21. Dezember 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/458C23C16/46C23C16/52C23C16/44F27D5/00F27D9/00H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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