Substrathalter und Verfahren
EP4105720
Art A1
21. Dezember 2022
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4105720
- Aktenzeichen
- EP21179874
- Anmeldetag
- 16. Juni 2021
- Veröffentlichung
- 21. Dezember 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/683
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Pei, Fei
Veldhoven, Niederlande
2
Patente gesamt
2
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte