Partikelprüfsystem, Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zur Prüfung einer Partikelbelastung einer Oberfläche
EP4107583
Art B1
19. Juli 2023
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4107583
- Aktenzeichen
- EP21705507
- Anmeldetag
- 15. Februar 2021
- Veröffentlichung
- 19. Juli 2023
- Erteilung
- 19. Juli 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01N1/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Lorenz & Kollegen
Heidenheim, Deutschland
Lorenz & Kollegen wurde 1976 von Dr. Werner Lorenz als Einzelkanzlei in Heidenheim an der Brenz gegründet, seit 2011 mit zweitem Standort in München. Schwerpunkte in Maschinenbau, Optoelektronik, Elektrotechnik, Physik und Informationstechnologie, dazu Marken- und Urheberrecht.
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