Vakuumpumpe, Abatement Vorrichtung, und Abgasbehandlungssystem

EP4108919 Art B1 27. August 2025

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4108919
Aktenzeichen: EP21756684
Anmeldetag: 12. Februar 2021
Veröffentlichung: 27. August 2025
Erteilung: 27. August 2025
Rechtsraum: EP
IPC: F04B49/02F04D19/04F23G7/06F04B37/14F04D25/16F04D27/00F23G5/50F23J15/02F23J15/04F04B49/06F04D29/70

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Edwards Japan Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

Vertreten von