Harmonische Eliminierungsschaltung, Positionserfassungsvorrichtung, Magnetlagervorrichtung und Vakuumpumpe

EP4108945 Art A1 28. Dezember 2022

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4108945
Aktenzeichen
EP21757336
Anmeldetag
10. Februar 2021
Veröffentlichung
28. Dezember 2022
Rechtsraum
EP
IPC
F16C32/04G01B7/00G01D5/12H03B1/04F04D19/04F04D27/00F04D29/058G01D3/02G01D5/22H02M1/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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