Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren und Herstellungsverfahren für ein Produkt

EP4109179 Art A3 4. Januar 2023

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4109179
Aktenzeichen: EP22179902
Anmeldetag: 20. Juni 2022
Veröffentlichung: 4. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03B27/68H01L21/762H01L27/146

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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