Einstellung der Lokalen Liniendichte zur Reduzierung der Verdrahtungsimpedanz in Beol Designs

EP4109522 Art B1 26. Juni 2024

Anmelder: Intel Corporation, INTEL Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4109522
Aktenzeichen
EP22165560
Anmeldetag
30. März 2022
Veröffentlichung
26. Juni 2024
Erteilung
26. Juni 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L23/522H01L23/528G06F30/394G06F30/398
Offizieller Volltext

Abstract

An integrated circuit structure includes a plurality of interconnect lines and a plurality of dummy lines that are co-planar with the plurality of interconnect lines, where a ratio of line length to end-to-end spacing of the dummy lines varies inversely with a density of the interconnect lines within each of a plurality of regions. The regions are of approximately equal area within a rectangular grid array.

Anmelder

Firmen
Intel Corporation
INTEL Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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