Neue Vorläufer zur Abscheidung von Filmen mit Hohem Elastizitätsmodul
EP4110969
Art B1
10. Dezember 2025
Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4110969
- Aktenzeichen
- EP21781234
- Anmeldetag
- 29. März 2021
- Veröffentlichung
- 10. Dezember 2025
- Erteilung
- 10. Dezember 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40C23C16/50H01L21/02C07F7/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Versum Materials US, LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
Kanzlei
ANDREA | SOMMER / Patentanwälte Partnerschaft mbB
München, Deutschland
ANDREA | SOMMER Patentanwälte Partnerschaft mbB mit Sitz in München, in direkter Nähe zum Europäischen Patentamt. Vertritt vor EPA, EUIPO und WIPO mit Schwerpunkten in Chemie und Pharmazie, berät von Einzelerfindern und Start-ups bis zu internationalen Konzernen.
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