Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Transparenten Substraten

EP4111263 Art A1 4. Januar 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4111263
Aktenzeichen: EP21759756
Anmeldetag: 22. Januar 2021
Veröffentlichung: 4. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F7/09H01L21/027H01L21/033H01L21/308C03C17/23C03C17/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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