Filmbildende Zerstäubungsvorrichtung und Dieselbe Verwendende Filmbildende Vorrichtung

EP4112185 Art A1 4. Januar 2023

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Kochi Prefectural Public University Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4112185
Aktenzeichen
EP21760747
Anmeldetag
18. Februar 2021
Veröffentlichung
4. Januar 2023
Rechtsraum
EP
IPC
B05B17/06H01L21/365H01L21/368C23C16/455B05B7/00C23C16/40C23C16/448H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Kochi Prefectural Public University Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff München, Deutschland

Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.

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