Verfahren und System zur Untersuchung von Proben unter Verwendung eines Rastertransmissionsmikroskops für Geladene Teilchen mit Reduzierter Strahlinduzierter Probenschädigung

EP4113573 Art A1 4. Januar 2023

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4113573
Aktenzeichen
EP21182936
Anmeldetag
30. Juni 2021
Veröffentlichung
4. Januar 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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