Vorrichtung zur Nivellierung auf Atomarer Skala mit Mikrostruktur und Verfahren zur Herstellung davon

EP4113583 Art A1 4. Januar 2023

Anmelder: Research Institute of Tsinghua University in Shenzhen, Tsinghua University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4113583
Aktenzeichen: EP20942599
Anmeldetag: 28. Juni 2020
Veröffentlichung: 4. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: B81C1/00H01L21/48B82Y40/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Research Institute of Tsinghua University in Shenzhen
Tsinghua University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

1.696 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von