Prozessumgebung zur Strukturierung von Anorganischem Resist

EP4115242 Art A1 11. Januar 2023

Anmelder: Inpria Corporation, Tokyo Electron Limited 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4115242
Aktenzeichen: EP21763934
Anmeldetag: 1. März 2021
Veröffentlichung: 11. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/38G03F7/004H01L21/027G03F7/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Inpria Corporation
Tokyo Electron Limited
Land: 🇺🇸 USA

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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