Steuerverfahren für eine Antriebsvorrichtung, Antriebsvorrichtung, Lithografiegerät und Verfahren zum Herstellen eines Artikels

EP4116773 Art A1 11. Januar 2023

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4116773
Aktenzeichen: EP22181193
Anmeldetag: 27. Juni 2022
Veröffentlichung: 11. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H02K41/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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