Stromversorgung für Elektrostatische Einspannvorrichtung, Elektrostatische Einspannvorrichtung und Entspannsteuerungsverfahren

EP4117168 Art A1 11. Januar 2023

Anmelder: Hamamatsu Photonics K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4117168
Aktenzeichen: EP20922520
Anmeldetag: 23. Dezember 2020
Veröffentlichung: 11. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H02N13/00H01L21/683

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: Hamamatsu Photonics K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hamamatsu Photonics

Japanisches Unternehmen für Photonik mit Sitz in Hamamatsu, spezialisiert auf Photodetektoren, Bildsensoren, Laser und optische Messtechnik für Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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