Element für Plasmaverarbeitungsgerät, Verfahren zu Seiner Herstellung und Plasmaverarbeitungsvorrichtung

EP4117396 Art A1 11. Januar 2023

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4117396
Aktenzeichen: EP21764037
Anmeldetag: 5. März 2021
Veröffentlichung: 11. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H05H1/46H01L21/3065H01L21/31C23C16/455H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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