Wartungsverfahren für Poliersysteme und Zugehörige Artikel

EP4117858 Art A1 18. Januar 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4117858
Aktenzeichen: EP21768870
Anmeldetag: 10. Februar 2021
Veröffentlichung: 18. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: B24B53/017B24B37/04B24B37/30H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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