Verfahren für Reflektorfilmwachstum

EP4118253 Art A1 18. Januar 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4118253
Aktenzeichen: EP21768603
Anmeldetag: 11. März 2021
Veröffentlichung: 18. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/06C23C16/14C23C16/18C23C16/32C23C16/455C23C16/02C23C16/04G02B5/08G02B1/02C23C16/20H01L27/146

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von