Polierzusammensetzung und Polierverfahren

EP4120322 Art A1 18. Januar 2023

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4120322
Aktenzeichen
EP21767897
Anmeldetag
4. März 2021
Veröffentlichung
18. Januar 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/306C09G1/02C09K3/14
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Fujimi Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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