Verbesserung eines Lithographischen Behandlungsfensters zur Erzeugung von Photolackmustern

EP4121820 Art A1 25. Januar 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4121820
Aktenzeichen: EP21772353
Anmeldetag: 3. Februar 2021
Veröffentlichung: 25. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/38H01L21/027H01L21/311H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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