Vorrichtung zur Erfassung einer Temperatur, Anlage zur Herstellung eines Optischen Elementes und Verfahren zur Herstellung eines Optischen Elementes
EP4124210
Art A1
1. Februar 2023
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4124210
- Aktenzeichen
- EP20837950
- Anmeldetag
- 16. Dezember 2020
- Veröffentlichung
- 1. Februar 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/24G03F1/72G01J5/58G01J5/00G02B5/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Raunecker Patent
Ulm, Deutschland
Raunecker Patent ist eine Patentanwälte-Partnerschaft mit Hauptsitz in Ulm und Standorten in München und Markdorf, die beim Schutz technischer Erfindungen, bei Patent-, Marken- und Designanmeldungen sowie bei Markenüberwachung und Lizenzvereinbarungen begleitet.
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