Vorläufer und Verfahren zur Herstellung von Siliciumhaltigen Filmen

EP4126886 Art A1 8. Februar 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4126886
Aktenzeichen
EP21779792
Anmeldetag
26. März 2021
Veröffentlichung
8. Februar 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C07F7/10C23C16/40C23C16/34C23C16/455C23C16/448H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen