Verdampfungsquelle, Abscheidungsvorrichtung mit einer Verdampfungsquelle und Verfahren dafür

EP4127260 Art A1 8. Februar 2023

Anmelder: Elevated Materials Germany GmbH, Applied Materials, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4127260
Aktenzeichen: EP20715808
Anmeldetag: 26. März 2020
Veröffentlichung: 8. Februar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/24C30B23/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Elevated Materials Germany GmbH
Applied Materials, Inc.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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