Kontrollierte Abscheidung eines Funktionellen Materials auf einer Zieloberfläche

EP4127266 Art A1 8. Februar 2023

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO, Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4127266
Aktenzeichen: EP21717577
Anmeldetag: 31. März 2021
Veröffentlichung: 8. Februar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C26/00C23C26/02C23C28/00C23C28/04C03C17/34H01L33/44H01L33/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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