Maskenrohling und Verfahren zur Herstellung einer Transfermaske

EP4130874 Art B1 16. April 2025

Anmelder: HOYA CORPORATION, Tekscend Photomask Corp., Toppan Photomask Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4130874
Aktenzeichen: EP21774076
Anmeldetag: 16. Februar 2021
Veröffentlichung: 16. April 2025
Erteilung: 16. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/32G03F1/80H01L21/3065G03F1/38G03F1/48

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: HOYA CORPORATION
Tekscend Photomask Corp.
Toppan Photomask Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

701 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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