Aktiv-Lichtempfindliche oder Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung, Aktiv-Lichtempfindlicher oder Strahlungsempfindlicher Film, Musterbildungsverfahren, Verfahren zum Herstellen einer Elektronischen Vorrichtung, Aktiv-Lichtempfindliche oder Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung zum Herstellen einer Fotomaske, und Verfahren zum Herstellen einer Fotomaske

EP4130878 Art A1 8. Februar 2023

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4130878
Aktenzeichen
EP21779830
Anmeldetag
12. März 2021
Veröffentlichung
8. Februar 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/004G03F7/038G03F7/039G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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