Herstellungsverfahren für Resistzusammensetzung und Verfahren zur Formung von Mustern

EP4130879 Art A1 8. Februar 2023

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4130879
Aktenzeichen: EP21779704
Anmeldetag: 8. März 2021
Veröffentlichung: 8. Februar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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