Elektronenkanonenkammer für ein Rasterelektronenmikroskop, Elektronenkanone damit und Rasterelektronenmikroskop
EP4131326
Art A1
8. Februar 2023
Anmelder: National Institute for Materials Science, Terabase Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4131326
- Aktenzeichen
- EP21776840
- Anmeldetag
- 18. März 2021
- Veröffentlichung
- 8. Februar 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/06H01J37/073H01J37/18H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- National Institute for Materials Science
Terabase Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute for Materials Science
Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
J A Kemp LLP
J A Kemp LLP · London