Plasmaquelle und Verfahren zur Herstellung Dieser Plasmaquelle

EP4131331 Art A1 8. Februar 2023

Anmelder: MKS Inc., MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4131331
Aktenzeichen: EP22195361
Anmeldetag: 12. Januar 2017
Veröffentlichung: 8. Februar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H05H1/24C23C16/44F16K51/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MKS Inc.
MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

425 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von