Prozessüberwachungsvorrichtung und Prozessüberwachungsverfahren

EP4131340 Art A1 8. Februar 2023

Anmelder: Sumitomo Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4131340
Aktenzeichen: EP21777149
Anmeldetag: 25. Februar 2021
Veröffentlichung: 8. Februar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/265H01L21/268G01J5/00G01J5/60H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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