Verfahren zur Überwachung von Prozessbedingungen eines Plasma-Pvd-Prozesses und Verfahren zur Steuerung eines Plasma-Pvd-Prozesses
EP4133118
Art B1
7. August 2024
Anmelder: Ionautics AB 🇸🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4133118
- Aktenzeichen
- EP21716868
- Anmeldetag
- 29. März 2021
- Veröffentlichung
- 7. August 2024
- Erteilung
- 7. August 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/34C23C14/34C23C14/35C23C14/54
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ionautics AB
- Land
- 🇸🇪 Schweden
Vertreten von
Melin Granberg, Linda
Malmö, Schweden
105
Patente gesamt
28
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte