Verfahren und Vorrichtung zum Trocknen eines Bauteilinnenraums

EP4133336 Art A1 15. Februar 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4133336
Aktenzeichen: EP21717783
Anmeldetag: 1. April 2021
Veröffentlichung: 15. Februar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20F26B21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik

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