Verfahren, Ansteuereinrichtung, Optisches System und Lithographieanlage

EP4133589 Art B1 6. August 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4133589
Aktenzeichen: EP21715498
Anmeldetag: 22. März 2021
Veröffentlichung: 6. August 2025
Erteilung: 6. August 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00H02P25/034H02P7/025

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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