Yttriumfluorid-Filme sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung von Yttriumfluorid-Filmen
EP4136272
Art A1
22. Februar 2023
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4136272
- Aktenzeichen
- EP21788468
- Anmeldetag
- 14. April 2021
- Veröffentlichung
- 22. Februar 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40C23C16/44C23C16/448C23C16/455C23C16/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar