Verfahren und Zusammensetzung zum Ätzen von Molybdän

EP4136273 Art A1 22. Februar 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4136273
Aktenzeichen
EP21787894
Anmeldetag
14. April 2021
Veröffentlichung
22. Februar 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3213C23F1/38
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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