Verfahren zur Inspektion einer Probe und System zur Inspektion mit mehreren Elektronenstrahlen

EP4136436 Art A1 22. Februar 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4136436
Aktenzeichen: EP20720028
Anmeldetag: 17. April 2020
Veröffentlichung: 22. Februar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/2251

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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