Ventilvorrichtungen und Zugehörige Verfahren zur Reaktiven Prozessgasisolierung und Spülerleichterung Während der Isolierung

EP4136669 Art A1 22. Februar 2023

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4136669
Aktenzeichen: EP21787873
Anmeldetag: 13. April 2021
Veröffentlichung: 22. Februar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01J37/32C23C16/50F16K3/18F16K51/02F16K3/02F16K3/06F16K11/065F16K49/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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