Messvorrichtung, Belichtungsvorrichtung und Messverfahren

EP4137776 Art A1 22. Februar 2023

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4137776
Aktenzeichen: EP20931549
Anmeldetag: 13. April 2020
Veröffentlichung: 22. Februar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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