Verfahren zur Herstellung von Iodosilanen und Zusammensetzungen daraus

EP4139250 Art A1 1. März 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4139250
Aktenzeichen
EP21793607
Anmeldetag
23. April 2021
Veröffentlichung
1. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C01B33/107C07F7/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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