Verfahren zur Erhöhung der Dichte von Nanoimprint-Lithographiefolien mit Hohem Index

EP4139746 Art A1 1. März 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4139746
Aktenzeichen: EP21793032
Anmeldetag: 23. Februar 2021
Veröffentlichung: 1. März 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00C23C16/04C23C16/40C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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