Überwachung und Steuerung der Überwachung von Vakuumsystemen

EP4139762 Art A1 1. März 2023

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4139762
Aktenzeichen
EP21723348
Anmeldetag
22. April 2021
Veröffentlichung
1. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G05B23/02F04B51/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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