Antriebsvorrichtung, Optisches System und Lithographievorrichtung

EP4140031 Art B1 15. Oktober 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4140031
Aktenzeichen: EP21721032
Anmeldetag: 20. April 2021
Veröffentlichung: 15. Oktober 2025
Erteilung: 15. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/08H02M1/00H02M1/14H03F3/217G03F7/00H02M3/158

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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