Yttriumblock und Sputtertarget damit

EP4141139 Art A1 1. März 2023

Anmelder: Tosoh Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4141139
Aktenzeichen
EP21791619
Anmeldetag
19. April 2021
Veröffentlichung
1. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34C23C14/58H01J37/34C23C14/18
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Tosoh Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tosoh Corporation

Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.

707 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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