Zwischenschichten für Interconnects Integrierter Schaltungen

EP4141918 Art A1 1. März 2023

Anmelder: INTEL Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4141918
Aktenzeichen
EP22184855
Anmeldetag
14. Juli 2022
Veröffentlichung
1. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768H01L23/532H10D30/67H10D86/40H10D86/60
Offizieller Volltext

Abstract

Described herein are integrated circuit devices with lined interconnects. Interconnect liners can help maintain conductivity between semiconductor devices (e.g., transistors) and the interconnects that conduct current to and from the semiconductor devices. In some embodiments, metal interconnects are lined with a tungsten liner. Tungsten liners may be particularly useful with semiconductor devices that use certain channel materials, such as indium gallium zinc oxide.

Anmelder

Firma
INTEL Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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Kanzlei
Boehmert & Boehmert München, Deutschland

Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.

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