Regleranordnung und Verfahren zum Testen und Montieren einer Regleranordnung

EP4143476 Art B1 10. Dezember 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4143476
Aktenzeichen
EP21795436
Anmeldetag
29. April 2021
Veröffentlichung
10. Dezember 2025
Erteilung
10. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G05D16/04G05D16/02F17C13/02G01M99/00H01L21/67G01M13/003G01F25/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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