Verwaltungsvorrichtung, Lithografievorrichtung, Verwaltungsverfahren und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP4145225
Art A1
8. März 2023
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4145225
- Aktenzeichen
- EP21834275
- Anmeldetag
- 21. Juni 2021
- Veröffentlichung
- 8. März 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/68G05B13/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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