Verfahren zum Herstellen von Reflektiven Optischen Elementen für den Euv-Wellenlängenbereich sowie Reflektive Optische Elemente für den Euv-Wellenlängenbereich

EP4147093 Art A1 15. März 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4147093
Aktenzeichen: EP21725451
Anmeldetag: 5. Mai 2021
Veröffentlichung: 15. März 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F1/24G21K1/06G02B1/12C03C17/34C03C17/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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