Verfahren zur Herstellung eines Verbundsubstrats mit Piezoelektrischer Einkristallschicht

EP4148995 Art A1 15. März 2023

Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4148995
Aktenzeichen
EP21800359
Anmeldetag
28. April 2021
Veröffentlichung
15. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H03H3/08H03H3/02H03H9/02// H03H3/04H10N30/072H10N30/853
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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