Vorrichtung und Verfahren zur Thermischen Stabilisierung von Sondenelementen unter Verwendung eines Wärmeleitenden Wafers

EP4150355 Art A1 22. März 2023

Anmelder: Entegris, Inc., International Test Solutions, LLC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4150355
Aktenzeichen
EP21802185
Anmeldetag
10. Mai 2021
Veröffentlichung
22. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G01R31/28G01R1/073
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
International Test Solutions, LLC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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