Dichtungshalter für eine Komponentenanordnung und Verfahren zur Installation einer Komponente in einer Vorrichtung zur Strömungssteuerung

EP4150664 Art A1 22. März 2023

Anmelder: Ichor Systems, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4150664
Aktenzeichen
EP21804970
Anmeldetag
12. Mai 2021
Veröffentlichung
22. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67F16J15/06F16J15/10F16K27/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ichor Systems, Inc.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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